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特種氣體的儲存注意事項:根據儲存的氣體類型設置標牌,如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。特種氣體的儲存注意事項:為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場地需平坦,操作需謹慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體從應用領域來看,主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業(yè)的加工制造過程,是下游的行業(yè)關鍵性化工基礎材料,被譽為電子產業(yè)的“血液”。
特種氣體的重要性:在半導體工藝中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。20 世紀 80 年代,電子產 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高,隨著氣體供應商供氣模式的引入,國內 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司,國內特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。
特種氣體指半導體生產環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領域。
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